自主研发离子束抛光机，生产的光学元件可达纳米甚至亚纳米级精度——江苏济恒推动实现“中国造”

对激光器固定支架进行锁紧加固，并在支架上安装了两个45度反射镜座，再将剩余钣金罩壳依次安装到位……9日，在位于南通高新区的江苏济恒光学仪器有限公司整机仪器装调车间，工作人员正有条不紊地对一台大气激光雷达进行设备调试。

“这就是我们与合肥中科光博公司合作研发的设备，去年4月开始研发，正在调试的这台设备本月底前就得交付。”济恒光学仪器有限公司现场负责人杨玉军介绍，大气激光雷达中光学元件最核心的是一块口径830mm主镜。主镜生产过程中大致做了非球面加工、打孔、检测等工作，其中镜面加工采用公司自主研发的机器人抛光机及离子束抛光机设备。

江苏济恒光学仪器有限公司成立于2022年9月28日，掌握高端光学制造设备的自主研制能力和高精度光学元件的先进生产工艺，具备大口径光学元件高效高精度全流程数字化的制造技术能力。

“我们的超精密离子束抛光机被广泛应用于航天、航空、半导体、科研、医疗、成像等领域的高端光学系统制造中。举个简单例子，客户订购了那种应用于高端场景的光学零件，要求很高才能实现高精度的对准和高质量的光路。它的加工难度非常大，我们通过采用单轴机、环抛机作为前道工序，采用离子束抛光技术作为后道工序，同时使用三维光学轮廓测量技术、干涉绝对测量技术，来保证生产出来的元件可以达到纳米甚至亚纳米级精度。”杨玉军介绍，离子束加工技术是原子级的加工手段，主要应用在基础科学研究、航空航天等高端领域。长期以来，该项核心技术一直被国外垄断。公司加强技术研发和创新，自主研发Φ1—Φ40mm口径射频离子源，可调节范围大，去除稳定，体积去除率为0.00001—0.2mm3/min，并积极推动科技成果转化和应用，成功解决了大型高精度光学元件尤其是大口径光学非球面、超高精度短波、强激光系统光学元件难于加工的难点，有效提升了大型高端光学制造的生产效率并降低成本。

作为一家从事超精密设备制造及工艺研发的高科技企业，该公司研发的超精密离子束抛光机成功打破了国外技术垄断，标志着中国制造业在高端精密光学元器件和加工设备领域迈出了重要的一步，真正实现了“中国造”的突破。目前，南通公司正在有序推进2500平方米研发中心、试验室、生产车间等建设，预计今年8月建成投产，投产后将成为大型超精密抛光设备、高端光学镜片及镜头仪器研发制造企业。

杨玉军表示，公司将积极抓住新质生产力发展的良好机遇，继续加大研发投入、提升技术水平，推动科技创新；聚焦战略性新兴产业和未来产业，结合本地资源优势，围绕发展新质生产力布局产业链，创造有利于新质生产力发展的新型生产关系和环境；充分利用现有优势，找准产业竞争新领域、新赛道，向“新”而行，以“质”致远，助力实现经济社会高质量发展。 

记者 徐爱银