在“头发丝”上盖“高楼”
启东一企业研发抛光液助造“中国芯”

本网讯 （通讯员戴丽丽 陈艺文 范存娟 记者黄海）昨天，从意芯微电子材料（南通）有限公司传出消息，公司自主研发的“TGV抛光液YCP-9200”正在竞逐2024年度“IC风云榜”年度技术突破奖，目前该产品已实现批量销售。

在半导体制造的精密世界里，抛光液如同一位幕后英雄，这把神奇的“打磨钥匙”，能够让芯片表面变得平滑如镜，从而增强芯片的可靠性和稳定性。“我们常说的14纳米、7纳米芯片，背后都离不开抛光液。”意芯微公司总经理张建拿出了一面经过抛光的“化妆镜”，上面密密麻麻排列了数百块芯片。

“集成电路产业被称为‘头发丝上’的产业，我们就相当于在头发丝上盖高楼大厦。”张建介绍，每一片芯片在生产过程中都会经历数十道的化学机械抛光工序，只有“楼面”抛光足够平坦齐整，“楼房”才能盖得更高。

据了解，芯片抛光液在国际市场上长期被美国和日本的相关企业所垄断，当前我国约80%的抛光液都依赖于进口。2022年意芯微落户启东，其研发人员占公司总人数比例超三成。2023年经过两轮融资，意芯微获得了知名半导体产业投资机构韦豪创芯和毅达资本的资金支持，用于半导体材料的研发和产业化。今年8月，又获得南通平衡资本千万级投资，加速布局晶圆抛光材料国产替代。目前，企业累计申请专利50余项，从抛光颗粒到最终产品，已实现了全链路100%国产化。

“国产抛光液不仅降低生产成本，还意味着更短的交付周期、更安全的供应条件，同时带动下游产业链发展，市场十分广阔。”张建说，即使是同一技术节点，不同客户的集成技术不同，对抛光液的需求也不同。因此，意芯微把主要精力都放在研发产品和客户端上，与客户深度“绑定”，量身定制抛光液。

前段时间，意芯微拿到了华灿光电400多万元的订单，今年销售额已超过1000万元。企业和捷捷微电、吉莱电子等本地企业也达成了合作，在手客户已超过100家，覆盖硅片、碳化硅、分立器件、逻辑芯片、先进封装等多个行业，预计明年的销售额将达到4000多万元。

“芯片制程技术不断进步，平坦化的精度要求也不断提高。只有不断创新，才能让‘中国芯’更强大。”张建介绍，目前，企业技术团队正在向物联网、5G芯片、人工智能等新兴应用终端领域进发。