18日,走进托伦斯半导体设备启东有限公司机加生产车间,一边是同时运转的数十台设备,另一边摆放着一批待交付的产品成品。公司副总李昌哲拿起其中一件向记者介绍,“这是装在半导体设备上的一个灯罩,别看它个头不大,售价却与一台小轿车相当。这款产品对机加工、焊接以及表面处理的要求极高,我们是这家客户的独家供应商。”
托伦斯是国内半导体设备零部件加工行业的“小巨人”。2018年,企业在启东投资落户,并于2020年8月将上海生产中心整体搬迁至启东经济开发区。自正式投产以来,企业营收高速增长,2021年超2亿元,今年上半年1.7亿元,全年预计可实现营收3.5亿元。
营收连年增长,得益于一批头部厂商的青睐。托伦斯的客户群体中不乏北方华创、中微、松下等国际半导体设备大厂。“我们拥有精密加工、钎焊及自动轨道焊接技术、表面处理特殊制程等关键制程研发和垂直整合能力,产品特点是‘少样多量’,绝大多数是根据客户需求定制的。”李昌哲说,正因如此,托伦斯的客户黏性很强,往往都是客户自己找上门来,自然就不愁订单。
半导体制造对于制程、质量、洁净度、纯度等方面有着极其严苛的要求及准入制度,而托伦斯早在2005年就凭借其领先的技术能力通过中微半导体等企业的认证,目前是国内仅有的3家通过认证的企业之一。
表面处理是半导体设备零部件制造中一道重要的工序。李昌哲带记者参观了托伦斯投入3000万元打造的表面处理线,其内部的无尘室洁净度达到医院手术室标准。“这里好比一个厨房,我们前期花了大量精力研制标准‘配方’,把‘烹饪’过程中的人为因素拿掉,每一个工件在槽里放多久、温度多少,都在后台设置好,以保证首件产品跟量产件的品质完全一致。”
立足于对半导体前道设备核心零部件的自主研发,托伦斯通过加工流程设计、精密加工程序的自主二次开发,对生产工具的自主设计和调配,以及国内顶尖的钎焊工艺和表面处理产线,使产品达到了极高的工艺水平,形成高精密多工位复杂型面制造技术、高精密微孔制造技术等核心技术,完成关键精密零部件到7nm制程的国产化。
“研发是我们最重要的资产。”托伦斯管理总监祝耀辉介绍,公司在技术创新和产品研发上的投入从不吝啬,拿出每年近5%的营业收入作为研发经费。公司拥有一支50人的研发团队,常年与江苏大学等高校以及主要客户开展产学研合作,以技术创新为产品和服务持续赋能。
对托伦斯来说,选择启东不仅因为其所在的长三角地区是半导体产业链的“主战场”,更是因为当地为企业提供的高效服务。“招商团队年轻、热情、专业。”李昌哲说,园区和相关部门前期为企业找到过渡厂房,还在人才招聘、融资、上市辅导、税收减免等方面提供了全方位帮助,“找到了家的感觉,就在这里扎根,不走了!”
紧跟中国半导体行业的发展步伐,迎接中国高端制造产业的需求及挑战,对未来,托伦斯充满信心。目前,公司二期20亩厂房正在加快建设中,预计一期、二期产能满载后,年销售额将超过10亿元。李昌哲表示,公司在产能扩充的同时将持续提升自主研发能力,打造国际领先的半导体设备服务商。
本报记者 沈雪梅 王玮丽